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SAILES I-OPC 产品
SAILES I-OPC 工具结合高精度的模型仿真,通过在掩模版上对设计图案进行精细调整,OPC技术能够确保在光刻胶上形成的图案尽可能地接近原始设计,从而显著提升图案的精度和一致性。
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产品与服务
华芯程开发的系列产品涵盖了计算光刻、良率提升、设计赋能及光掩模等各领域,并提供IP服务,对设计、制造流程加以优化,进而缩短研发时间,加速工艺开发,带来良率提升。
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