SAILES I-MDP产品

将版图数据，转换为掩模厂可以使用的格式，这一过程称之为MDP(掩模数据准备)。例如，将数据转换为 GDSII、OASIS 等行业标准格式，以便后续的掩模制作工艺能够顺利进行。这些标准格式能够准确地描述芯片的版图信息，包括图形的形状、位置、层次等，确保掩模制作的精度和准确性。

华芯程SAILES I-MDP 软件能够将版图数据转换为掩模版生产机台可识别的数据格式，实现版图数据切割及快速转档提。能够支持的输入文件类型包括GDSII、OASIS和MEBES，输出文件类型包括MEBES、 Oasis.Mask等。

在转档过程中 SAILES I-MaskOPT 工具通过优化顶点对齐功能，将MDP转档生成的复杂的多边形数据，进行精准转换，并根据掩模图形的形状、尺寸等特征，智能生成曝光所需的矩形和三角形基本图形（即 “shots”）。MaskOPT 能够通过独特算法，将掩模图案高效地分解为一系列 “shots”，确保在满足光刻精度要求的同时，最大程度优化掩模写入时间。

那往往在光罩掩模数据制造之前，还需要检查数据中的图形是否存在错误、缺陷或不规范之处，并进行修复或提示。例如，检查图形的完整性、连通性，是否存在重叠、间隙等问题。对于发现的问题，转档工具可以自动进行修复，或者向用户提供详细的报告，以便用户进行手动修复，这一过程通常通过MRC工具完成，该软件还支持XOR功能以验证数据转换的准确性。